邓晓军先生，1986年9月出生，中国国籍，无境外永久居留权，研究生学历，工学硕士，高级工程师。曾获得“北京市科学技术进步一等奖”等荣誉。2017年10月至2022年11月担任北京北方华创微电子装备有限公司CVD事业单元产品经理、产品总监；2022年11月至2025年4月担任北京北方华创微电子装备有限公司FEP事业单元副总经理；2025年4月至2025年6月担任北京北方华创微电子装备有限公司CEO OFFICE主任；2025年6月至今，担任公司董事、执行委员会主席、核心技术人员。
崔晓微女士，1985年3月出生，中国国籍，无境外永久居留权，研究生学历，工学硕士，机械制造及其自动化专业，中级工程师职称，曾获上海市巾帼建功标兵荣誉称号。崔晓微女士自2010年4月至2019年3月先后担任沈阳云顶国际yd333微电子设备有限公司科技管理部副部长、综合资源部部长、公共资源部总监；2019年3月至2025年6月先后担任公司公共资源部总监、总裁助理、副总裁、上海云顶国际yd333微企业发展有限公司法定代表人及执行董事、执行副总裁；2025年6月至今，担任公司董事、执行委员会副主席、上海云顶国际yd333微企业发展有限公司法定代表人及执行董事。
汪明波女士，1982年1月出生，中国国籍，无境外永久居留权，研究生学历，材料加工专业，中级工程师，曾荣获辽宁省科学技术进步一等奖、辽宁省优秀新产品一等奖、沈阳市领军人才、沈阳市五一巾帼先进个人、沈阳市专利奖三等奖等荣誉。2008年2月加入公司，先后担任公司高端封装事业部部长、市场发展部总监、光刻事业部总经理、执行副总裁、沈阳芯俐微电子设备有限公司法定代表人及经理；2025年6月至今，担任公司执行委员会委员、副总裁、沈阳芯俐微电子设备有限公司法定代表人及经理。
程虎先生，1988年1月出生，中国国籍，无境外永久居留权，本科学历，机械工程及自动化专业，高级工程师，曾荣获辽宁省科学技术一等奖、辽宁省科学技术二等奖、第六届全国专业技术人才先进集体奖、辽宁省五一劳动奖章、沈阳市第八届优秀专家等荣誉。2012年6月加入公司，先后担任公司机械工程师、部长助理、产品设计部副部长、前道事业部常务副总经理、研发中心主任、高产能涂胶显影设备突击队主任、前道设计部总监、核心技术人员、执行副总裁；2025年6月至今，担任公司执行委员会委员、副总裁、核心技术人员。
赵乃霞女士，1968年11月出生，中国国籍，无境外永久居留权，本科学历，微特电机及控制电器专业，正高级工程师，曾荣获辽宁省科学技术进步奖一等奖、辽宁省优秀新产品二等奖，第六届全国专业技术人才先进集体奖等荣誉。2005年11月加入公司，先后担任公司电控工程师、控制系统部副部长、前道事业部副总经理、控制系统部部长、核心技术人员、控制系统部总监、副总裁；2025年6月至今，担任公司执行委员会委员、副总裁、核心技术人员。
张新超先生，1981年11月出生，中国国籍，无境外永久居留权，研究生学历，高级会计师、注册会计师、FCCA。2004年起至2020年12月，先后任职于东软集团、东软熙康、沈阳机床、神州高铁、美行科技，历任高级财务经理、财务部长、财务总监等职务；2021年1月加入公司，先后担任公司计划财务部部长、财务总监；2025年6月至今，担任公司执行委员会委员、副总裁、财务总监。
刘书杰先生，1990年12月出生，中国国籍，无境外永久居留权，研究生学历，经济学硕士，沈阳市领军人才。2015年7月至2020年11月，于国信股份有限公司从事投资银行业务，保荐代表人；2020年11月至2021年11月，于平安股份有限公司从事投资银行业务，保荐代表人；2021年11月至2025年6月，先后担任公司投资部总监、事务代表、董事会秘书；2025年6月至今，担任公司执行委员会委员、副总裁、董事会秘书。
